1521型MEMS加速度计提供从±2g到±400g的八个标准量程范围,具有±4V差分输出,并提供20引脚LCC封装或J形引脚类封装的两种选择,这两种封装均具有氮气阻尼、气密密封且符合RoHS标准。
“1521型MEMS加速度计的显着特点是将MEMS电容传感元件与放大器和内部温度传感器集成在一起。”Silicon Designs表示,“该型号产品专为需要低噪声和长期稳定性的零到中频测试和仪器应用而设计。”
1521型MEMS加速度计响应覆盖0(dc)至2000Hz,2g满量程部件的典型噪声为7μg/√Hz。Silicon Designs表示,这款MEMS加速度计可以承受5000g的冲击且无信号衰减。
1521型MEMS加速度计工作电压通常为5V(5mA),工作温度范围为-55℃至+125℃。